影响微量氧分析仪测量准确度的因素：

　　1、泄漏。微量氧分析仪在初次启用前必须严格检漏。微量氧分析仪只有在严密不漏的前提下才能获得准确的数据结果。任何连接点，焊点，阀门等处的不严密，将会导致空气中的氧反渗进入管道及仪器内部，从而得出含氧量偏高的结果。

　　2、污染。在重新使用微量氧分析仪时，首先须注意在连接取样管路时是否漏入空气，并且必须认真将漏入的空气吹除干净，尽量不使大量氧气通过传感器以延长传感器寿命。在管道系统净化过程中，为缩短净化时间，需要有一定的方法，一般使用高压放气及小流量吹除交替进行可迅速净化管道。

　　3、管道材质的选择。管道材质及表面粗糙度也将影响样气中氧含量的变化。一般不宜用塑料管，橡胶管等作为连接管路。通常选用铜管或不锈钢管，对超微量分析(指＜0.1ppm)则必须用抛光过的不锈钢管。